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第三百八十四章 MOCVD(1 / 2)

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第三百八十四章

目前,发展较好的宽禁带半导体主要是sic和gan这两种。

在燕大的半导体研究中心这,主要研究的宽禁带半导体对象是gan。

第三代宽禁带半导体拥有良好的物理化学性能,可应用在诸多的领域。

而现在,根据第三代半导体的发展情况,其主要应用为半导体照明、电力电子器件、激光器和探测器、以及其他4个领域。

各个领域产业成熟度各不相同。

但在前沿研究领域,宽禁带半导体还处于实验室研发阶段。

目前市面上主流的半导体,还是以第一代半导体和第二代半导体为主。

其原因嘛……

当然是第三代宽禁带半导体还有很多技术难题没有攻克。

燕大的半导体研究所正在进行的工作,就是全力攻克这些难题,早日实现第三代半导体技术的彻底成熟,应用于市场。

…………

宽禁带半导体实验室,顾律三人穿着深棕色的实验服,在张主任的带领下走进去。

实验室的面积很大。

将近有半个篮球场的大小。

一眼望去,可以看到实验室内数位研究员在各台仪器前紧张的忙碌着。

“主任好。”

“主任好。”

几位年轻的研究员助理见到张主任进来,客气的打招呼。

张主任点点头,然后摆摆手,“你们接着忙,接着忙。”cvd那边吧。”张主任压低声音,询问顾律。

顾律点头一笑。

张主任带着顾律来到一台一个高的长方形设备面前。

cvd了!”张主任拍拍设备外面的铁壳,笑着为顾律介绍。

顾律上下打量了这台设备一番。cvd,是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。

该设备以3族、2族元素的有机化合物和v、6族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种3v主族、26副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

上面说的有些复杂。

简单来理解的话,就是通过这台ocvd设备,可以将有机化合物和氢化物,合称为实验室所需的gan宽禁带半导体。

这是一台生长宽禁带半导体的仪器。

顾律在国外见过这种设备。

cvd系统是有些区别的。cvd系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性,所以国内和国外ocvd系统的主要区别在于反应室结构。

在国外,反应室结构大多采用‘turdisc反应’,而国内则是采用‘行星反应’。

两者各有其优劣,说不上谁更好。

cvd,虽然使用的仍旧是国内的行星反应室结构,但在设备的其他组成系统上,应该进行了深层次的优化。

顾律只是简单的上下打量了这台设备一眼,就得出一个这样的结论。

“张主任,你们的这台设备应该进行了一定程度的改装吧,根据我的推测,这台ocvd不止最多可以同时生长两片15英寸的gan宽禁带半导体?”顾律说出自己的猜测。

张主任竖起大拇指。

“你说的没错。”张主任拍拍设备,语气略带得意的开口,“这台设备买回来后,我就让隔壁机械学院的几位朋友改装了一下。”

“你看着,在这块源供给系统部分,我们加了一个恒温器,可以保证金属化合物一个衡定的蒸气压。”张主任指着仪器前端的加装上去的一个恒温器为顾律介绍。

“还有这。”张主任把顾律领到ocvd的背面,“这块是气体运输系统,原本这里是只有一条管道的。”

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